... etching gas mixture 腐蚀用气体混合物 etching mask 腐蚀掩模 etching reactor 腐蚀反应器 ...
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槽腐蚀用掩模图象形成 trench mask definition
等离子腐蚀用掩模 plasma etch mask
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在整套工艺环节中，光掩模版图设计和湿法腐蚀是两个关键步骤。
The mask design and the wet etching are both key processes in the technology introduced.
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