primary barrier
... 低渗透阻挡层 permeability barrier 第一道阻挡层 primary barrier 电弧阻挡层 arc barrier ...
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半导体器件上铜层化学机械抛光(CMP)的第一道工序一般需要使用一块硬抛光垫,在磨去阻挡层的工序中要用到软垫。
Typical chemical mechanical polishing (CMP) of copper layers on semiconductor devices involves using a hard pad in the first step and a soft pad for the barrier layer removal step.
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