离子注入技术:把掺杂剂的离子引入固体中的一种材料改性方法。简单地说,离子注入的过程,就是在真空系统中,用经过加速的,要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在所选择的(即被注入的)区域形成一个具有特殊性质的表面层(注入层)。
之后又发明了等离子体浸没离子注入技术(简称PIII[26])、金属离子注入和沉积相结 合的处理工艺(简称PIII&D[27]),广泛应用在生物医用材料和精密零部件等领域。
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离子注入隔离技术 implant isolation technique
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用离子注入技术保证电路具有较好的一致世。
The ion implantation technology is used for a good uniformity of the circuit performance.
氦离子用等离子体浸没离子注入技术注入硅片中。
Helium ion was implanted by plasma immersion ion implantation technology.
本文评述了在金属材料领域中应用离子注入技术的现状;
The present situations of applying ion implantation technique in metallic materials are reviewed.
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