硅微机械加工技术
Silicon micro-mechanical processing technology
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
多孔硅作为一种牺牲层材料，在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。
Porous silicon used as a sacrificial layer has some important applications in surface micromachining technology.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动