提出了将环路径向剪切干涉(CRSI,Cyclic Radial Shearing Interferometry)术应用于光学元件面形检测的新方法。设计了基于环路径向剪切干涉检测光学元件面形的光路系统。
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设计了基于环路径向剪切干涉检测光学元件面形的光路系统。
The optical system for optics measurement is designed based on this technique.
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