在十一月,产业界亦将迈向下一步,针对18英寸测试晶圆(test wafer)的厚度进行投票,而925微米似乎仍是主要目标;Goldstein表示他们并不希望有太大的改变。
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测试晶圆片駦-用于生产中监测和测试的晶圆片。
Test wafer - a silicon wafer that is used in manufacturing for monitoring and testing purposes.
加工测试晶圆片䏐-用于区域清洁过程中的晶圆片。
Processs Test wafer - a wafer that can be used for processes as well as area cleanliness.
原始测试晶圆片㠰-还没有用于生产或其他流程中的晶圆片。
Virgin test wafer - a wafer that has not been used in manufacturing or other processes.
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