reactive ion beam
在氧气氛围中等离子体［4sl，活性离子束（reactive ion beam， RIBE）¨“，活性离子（reactive ion，RI）¨引刻蚀Parylene表面已有众多报道。
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活性离子束腐蚀 reactive ion beam etch ; ribe
活性离子束氧化 reactive ion beam oxidation
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