This paper designs TiO2 oxygen-sensing component testing circuit and temperature testing circuit. The simulated gas experimentation equipment tests characteristics of TiO2 thin film.
研究中设计了TiO2氧敏器件测试电路和TiO2氧敏器件加热电路,采用模拟气体试验装置对制备的TiO2氧敏器件性能进行了初步的测试,分析了加热电压的变化对氧敏器件温度的影响,以及TiO2氧敏薄膜电阻值随进入反应实验室中氧气浓度的变化,对实验的结果进行了分析。
参考来源 - 磁控溅射TiO·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
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