氧化多孔硅绝缘
Oxidized porous silicon insulation
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并在其表面沉积了氧化钒热敏薄膜，研究了多孔硅样品的热绝缘性能对氧化钒热敏薄膜阻温特性的影响。
The influence of the thermal isolation of the PS on resistance's sensitivity of VOx film was investigated.
youdao
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