（侧面发光型：5mm） 检测晶圆传送盒的物料（FOUP） 超薄外壳的E系列便于安装在狭小空间里。 例如，E系列最适合用于安装空间比较狭小的半导体行业。
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检测晶圆传送盒的物料
Inspect the materials in the wafer transfer box
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