... 10.何氏系数ho coefficient： 11.抽速系数speed factor： 12.气体的反扩散back-diffusion of gas： ...
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抽速系数
Pumping speed coefficient
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对各型线几何抽速和面积利用系数公式中的重要变量进行了讨论。
The important variables in the formulas of geometric pumping speed and coefficient of used area are discussed.
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