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抽真空管道
Vacuum pumping pipeline
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
两个镀膜室通过预抽真空管道和蝶阀、高真空三通管道和闸板阀组成一个整体。
Two film plating Chambers are formed into a whole via a forvacuum pipeline, a butterfly valve, a high-vacuum three-way pipeline and a gate valve.
youdao
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