微雷射加工( Micro Laser Machining ) （一）红外线雷射：将材料表面物质加热汽化（蒸发），以除去材料之加工方式，故称为热加工。 1.
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准分子雷射微细加工机 Excimer Laser Micromachining
微雷射加工
Micro-laser processing
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