微电子材料，就是一种由GeSi合金和宽禁带合成的半导体材料。 主要是大直径（400mm）硅单晶及片材技术，大直径（200mm）硅片外延技术，150mmGaAs和100mmInP晶片及其以它们为基的III－V族半导体超晶格、量子阱异质结构材料制备技术，GeSi合金和宽禁带半导体材料等。
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嘉柏微电子材料 Cabot Microelectronics
微电子材料与制程 Microelectronics Materials and Processing
微电子功能材料 Micro-electronics Function & Material ; Micro-electronics Function &
微电子试剂及材料 Micro-electronics reagent and material
微电子学材料 Materials of Microelectronic
微电子封装材料数据库 microelectronics packaging materials database
超高纯过氧化氢试剂是微电子材料加工必需的关键电子化学品。
The ultra high pure hydrogen peroxide is one of the critical chemical materials for wet chemical process in the microelectronic industry.
其结果对于正确理解微电子材料cmp加工中的材料去除机理具有实际意义。
The results are important for the understanding of the mechanism of material removal in the CMP of microelectronic materials.
本研究结果为治理环境污染、探索微电子材料气相沉积机理以及新型星际分子探测提供了理论线索。
The present research can to provide some theoretical clues for the pollution removal, chemical vaporization of microelectronic materials and detection of novel interstellar molecules.
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