• microwave ecr plasma - 引用次数：4

  A diagnostics is done on the microwave ECR plasma CVD facility. We get the plasma parameter, then analyze the experiment results and give the improvement advices.

  5.将该诊断系统应用于微波ECR等离子体CVD系统上进行实验,获取等离子体参数,对实验结果进行分析,提出系统改进方案。

  参考来源 - 微波ECR等离子体探针检测的研究与设计

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