微机械是指利用半导体技术（特别是平板印制术，蚀刻技术）设计和制造微米领域的三维力学系统，以及微米尺度的力学元件的技术。它开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。
...工业中的微细加工技术与机械工业中的 微机械 加工技术相嫁接，即微电子学 与 微机械 学相互融合的产物， 微机械 （ Micromachine ）就是MEMS的代名词，是迄今最高级 的机电一体化产品。现在，多数人认为MEMS技术是半导体技术的一个分支，它植根于半 导体工业。
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微机械元件和仪器新进展-中国数控机床网-中国最大的机床门户网站 关键词 ：微机械 元件 仪器 [gap=669]Key words ：MEMs,Componets,Instruments
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...tegrated micromechanical circuits for rf front ends-集成微机械射频前端电路结束-知来数据 Keywords—MEMS, micromechanical, quality factor, resonator, oscillator, filter, wireless communications, mechan[gap=302]关键词：微机电系统，微机械，品质...
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显微机械加工 Micromachining
微机械加工 micromachining ; silicon micromachining ; Micro Mechanical Machining ; micro-machine processing
微机械电子系统 MEMS ; micro electronic mechanical system
射频微机械 RF MEMS
微机械陀螺 micromechanical gyroscope ; micromachined gyroscope ; Micro-mechanical gyro ; MEMS
微机械技术 Micromachining technology ; micromechanical technology
微机械与纳机械装置 Micromechanical and Nanomechanical Devices
微机械陀螺仪 MEMS gyroscope
微机械学 micromechanics
In order to achieve the goal of low cost and anti-jamming,in this thesis,for the first time, a magnetism-inertia attitude detection system being composed of three component magnetometers and a single axle micro-machine gyroscope is proposed using on rocket projectile.
为了低成本、抗干扰的目标,本文首次提出在火箭弹上采用三分量磁强计和单轴微机械滚转陀螺组成的磁-惯性姿态探测系统。
参考来源 - 脉冲发动机提供控制力的火箭弹弹道修正理论及技术研究Piezoelectric actuator have been widely used in many fields such as micro- electronic, micro-mechanism, nanometer-science and technology and so on.
压电陶瓷驱动已被广泛地应用在微电子、微机械、纳米科技等众多技术领域。
参考来源 - 微型化低纹波压电陶瓷驱动电源的研制Genetic algorithm is applied to optimize designing structure of micromachine properties tester.
本文采用遗传算法对微机械力学性能测试仪微加载机构设计进行优化。
参考来源 - 用于微机械性能测试的微加载装置的结构设计The gyroscope chip is the key part of quartz micromechanical vibration gyroscope.
陀螺振子是石英微机械振动陀螺仪中的核心器件。
参考来源 - 石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究The capacitive accelerometers fabricated by bulk micromachining process have large sensitive mass, small noise and high resolution compared to the ones fabricated by surface micromachining process.
用表面微机械制作的电容式传感器，其敏感质量较小、热机械噪声大、分辨率不 摘要高。
参考来源 - 微机械电容式传感器及其相关特性研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
微机械公司计划生产一种芯片，因为它只使用微小的机械开关，所以不会受到辐射损伤。
Micro-Mechanics plans to produce a chip that, because it uses only microscopic mechanical switches, will be invulnerable to radiation damage.
讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性、必然性。
This paper examines the possibility and necessity of using micromachining technology for sensor manufacturing.
微平版印术，显微机械加工，和微制作手册：卷一：微平版印术。
Handbook of Micro lithography, Micromachining, and Micro fabrication. Vol.1: microlithography.
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