micropattern 利用弹性印章技术,将印章表面的微型图形印到平面基底上,并形成图形。这些图形通常为微米级别,不同区域对细胞有不同的粘附性,用以调控细胞生长的形态。
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在这些器件的制作过程中,铁电薄膜的微图形化是非常重要的一环。
In the preparing process of these devices, the micropatterning of ferroelectric thin films is very important.
PZT薄膜的微图形化是制备基于PZT薄膜微传感器和微驱动器的关键技术之一。
Micro-patterning of PZT thin film is one of the key technologies in the fabrication of micro-sensors and micro-actuators made of PZT films.
作为一种新型的微图形复制技术,软光刻技术用弹性模替代传统光刻技术中使用的硬模来产生微形状和微结构。
As a newly coming micro fabrication technology, soft lithography use elastomeric stamp to replace hard stamp in traditional lithography to fabricate micro patterns and structures.
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