...氩离子轰击期间（3千电子伏），在温度高达873 K的表面和近表面层的组成的变化，使用俄歇电子能谱（AES）和X-射线显微分析（XMA） 。长范围耗尽的铜的厚度为100nm的顺序观察取决于溅射时间，试样的温度，和离子束密度。
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电子探针显微分析 EPMA ; Electron probe microanalysis ; E MPA
电子探针显微分析仪 EPMA
显微分析 XQMA ; Microscopy ; GE-EPMA ; microscopic analysis
电子探头微分析 EPMA
小便微分析 Urinalysis ; Urine Routine
共聚焦显微分析 Confocal Microscopy
扫描电子显微分析 SEM-EDX ; Field emission scanning electron microscopy
显微分析仪 epma
光学金相显微分析 optical microscopic structure inspection
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微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一。
Fabrication of micro channels is a key technique for production of analysis chip.
此外，这些部门缺乏对血片的显微分析，引进了许多混杂疾病的效应。
In addition, the lack of microscopic analyses of blood slides in these units introduces the effects of many confounding diseases.
本文将介绍扫描探针显微镜及其在微电子工艺和器件微分析中的应用。
This paper gives an overview of SPM technology and its applications in microanalysis of microelectronics process and devices.
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