...性传感器，除了惯性传感器，Tronics的技术还包括气体传感器、红外线传感器，微型反射镜(micro-mirror)、微光学元件(micro-opTIcs)、微型致动器，以及用于体外诊断与DNA分析的前瞻性生物MEMS与微流体(microfluidic)元件。
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Micro-optical elements become more and more widely used in modern science and technology because of their merits in high diffractive efficiency, small dimension, low weight, mass reproducibility and various optical functions.
微光学元件以其效率高、体积小、重量轻、易于复制、可以实现多种变换功能等优点在现代科技中有着越来越广泛的应用。
参考来源 - 分数傅里叶域微光学元件设计方法研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
微透镜阵列就是其中一种重要的微光学元件。
The microlens arrays are the important kind of micro-optics elements.
介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。
The method on profile - control of micro - optic element in photoresist was presented.
简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。
The design and fabrication of wide band infrared anti reflection film on Ge substrate micro optical components by ion beam assisted deposition are reported.
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