... Active device：有源器件，如MOS FET(非线性，可以对信号放大) Align mark(key)：对位标记 Alloy：合金 ...
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上各种标记，包括用于对位的RGB 对位标记(Alignment Mark)，其中，通过光罩上的目标标 记(Target Mark) 与这些对位标记相对应。
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十字线对位标记 registration marks
对位用标记 register mark
对位标记
Alignment marking
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