...Gun) 发射电子束,经过一组磁透镜聚焦 (Condenser Lens) 聚焦后,用遮盖孔径 (Condenser Aperture) 选择电子束的尺寸(Beam Size)后,经过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜 (Objective Lens) 聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接纳器,用以择取二次...
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子束的尺寸
The size of the sub-bundle
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