MEMS器件深槽侧壁形貌测试方法研究(测试计量技术及仪器专业优秀论文) - docin.com豆丁网 M）。其中SPM可以对被测表面及近表面区域的物理特性在原子量级的水 平上进行探测，位置分辨率非常高，如扫描隧道显微镜（STM，ScanningTunneling Micrscope）和原子力显微镜（AFM，AtomicForceMicroscope）可以达到亚纳米级的分辨 率…。
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如扫描隧道显微镜
Such as a scanning tunneling microscope
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光子扫描隧道显微镜所得图像与很多因素有关，如：样品形貌、样品折射率、入射光的极化方式、探针的性质。
The image obtained by PSTM depends on a various complex factors such as the sample's optical properties, the polarization of the incident field, probe properties and so on.
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