...neering Technology Mechanical andManufacturing Systems 机械与制造系统 Micro-Elecro -Mechanical-Systems 和微电子机械系统 bentley building mechanical systems 械系统 ..
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已经有采用微机械调谐(Mi-T，Micro-machined Tunable）和微电子机械系统(MEMS，Micro-Elecro -Mechanical-Systems)技术的可调波长VCSEL的报道.图4是采用MEMS技术的单片可调谐波长VCSEL的结构示意图.
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...损坏光学 3 华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 元件、集电环和微电子机械系统(MEMS, Micro Electronic and Mechanical System )器 件(图1-2)。
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微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术，熟练掌握并不容易。
Micromachining technologies, the key technologies in research and production of micromachined devices and micro electro mechanical systems, are not easy to manage.
这些微器件与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。
These micro transducers can be integrated with signal conditioning and processing circuitry to form micro-electro-mechanical systems (MEMS) that can perform real-time distributed control.
介绍了微电子镀覆在半导体和IC封装、凸点制作、多芯片组件以及微电子机械系统中的应用。
This article describes the application of microelectronic plating in manufacture of semiconductor, IC packaging, micro-bumps, multichip modules and microelectronics mechanical systems.
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