getter pump
... 被抽介质或是在温度非常低的表面上(低于120 K)捕集,或使用大的有效面积的多孔媒介物在低温条件下来吸附被抽介质的真空泵。例如:低温泵和吸附泵。本文中使用的术语“低温”,其温度要低于120 K。 吸气剂泵 getter pump 分子泵 molecular pump ...
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