双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
... dual-frequency dye laser 双频染料激光器 dual-frequency laser interferometer 双频激光干涉仪 dual-fuel burner 双燃料喷燃器 ...
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双频激光干涉仪 frequency laser interferometer ; Laser measurement system 气体激光干涉仪 gaslaserinterferometer 标准激光干涉仪 The Standard Laser Interfermetry System ...
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双频激光干涉仪是应用广泛的精密测量仪器。
Dual-frequency laser interferometer is a widely used precision measurement instrument.
双频激光干涉仪是现代精密测量中最精密的测量仪器之一。
Dual-frequency laser interferometer is one of the most precision measuring instruments in modern...
分析了系统精度，用双频激光干涉仪测量系统组成部分的误差，并通过软件方法进行补偿。
The system accuracy is analyzed, and the systematic error is measured by 5528A Laser Measurment System and calibrated by software.
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