双材料微悬臂梁阵列 bi-material micro-cantilever array
·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
采用微细加工技术制作出无基底的双材料微悬臂梁阵列结构。
The micro-electromechanical system (MEMS) technology is adopted to fabricate the substrate-free bi-material micro-cantilever arrays.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动