... chemical-flux cutting 药剂切割 chemically amplified resist 化学放大型抗蚀剂 chemically precipitate metal powder 化学沈面金属粉末 ...
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化学放大型抗蚀剂
Chemical amplification resists
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本发明还提供含有由上述式（I） 表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
The invention further provides a chemically amplified positive resist composition comprising the salt represented by the formula (I).
youdao
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