如需了解运动学在12英寸晶圆厂里所起的作用，您只需观察一下前开式晶圆传送盒（FOUP）的下方和晶圆输入端相关的对准针即可。
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前端开启式晶圆传送盒 front opening unified pod ; FOUP
前开式晶圆传送盒
Front-opening wafer transfer box
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