optical reference plane
... optical reference line 光学参考线，光学基准线 optical reference plane 光学参考面，光学基准面 optical reflector (1)反光镜(2)光反射器 ...
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通过对光刻工艺过程的研究，可为较好地控制正性光刻胶面形，制作微机械、微光学器件提供了参考依据，对微浮雕结构的深刻蚀具有重要的指导意义。
We can better control the positive photoresist figure, provide a reference for making MEMS and MOEMS, it is of an important instructional significance for deep relief of micro structure.
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