photoetch method
光蚀刻法 photo etching
日光蚀刻法 Heliography
·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
制备金属光子晶体方法包括：电子束刻蚀结合后续剥离法、激光干涉光刻结合干刻蚀技术等。
The fabrication methods of MPC include electron beam lithography with subsequent evaporation and lift-off, interference lithography with dry-etching technology etc.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动