元模型是关于模型的模型。这是特定领域的模型，定义概念并提供用于创建该领域中的模型的构建元素。例如，可以将SPEM视为流程工程元模型。
元元模型（meta-metamodel）是对元模型的抽象整理，用元元模型的性质可以评价元模型的合理性，我们可以通过研究元元模型来规范“软件自动机的生产过程”
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（1） 建立了一个元模型（process meta model）：它用于描述一个过程模型内各个对象、它们之间的关系及它们的属性，有利于多个工作流产品之间交换模型信息。
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单元模型线程 apartment-model threading
公共仓库元模型 CWM ; Common Warehouse meta model ; Common Warehouse Model
有限元模型 finite element model ; FE model ; MSC.Patran.2005.R
有限元模型生成器 FEM
墙元模型 SATWE
二元模型 Bigram ; bigram model ; dualistic model ; Dual-model Theory
混合有限元模型 hybrid finite element model
元-元模型 meta-metamodel
物元模型 Matter-Element model ; Element mode ; matter element analysis model
Thirdly, we define abstract semantics of a meta model.
第三，设计了一套元模型的抽象语义。
参考来源 - Pcanel——基于模型驱动的嵌入式系统设计平台Finally, A framework development methodology for automatic test systems based on the meta-model was presented.
最后，利用上面两点研究成果提出一种基于元模型、热点驱动的自动测试系统的面向对象框架开发方法。
参考来源 - 自动测试系统的面向对象框架开发方法研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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