low temperature etching
...ow pressure vapor phase epitaxial growth system 低压CVD 系统：low pressure CVD system 低温蚀刻：low temperature etching ..
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低温刻蚀 Cryo-etching
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可以以在工业上有利 的方式生产可用作低温制冷剂或蚀刻气体的高纯度1，1-二氟乙烷。
High-purity 1,1-difluoroethane usable as a cryogenic refrigerant, or as an etching gas, can be produced in an industrially advantageous manner.
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