低压微波等离子体
Low-pressure microwave plasma
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等离子体400和660系列是低压微波等离子体应用于提高模具粘合，引线的焊接，特别是清洗高级的芯片封装。
Plasma systems 400 and 660 are low-pressure microwave plasma systems for cleaning advanced chip packages prior to die attach, wire bond and encapsulation.
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