low dosage ion implantation
... low electron affinity 低电子亲合力 low dosage ion implantation 低剂量离子注入 low diffuser 低扩散系数杂质 ...
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采用无质量分析器的离子注入机，以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备soi材料。
An implanter without ion mass analyzer was used to fabricate thin SOI materials by low energy and low dose water ions implantation instead of conventional SIMOX.
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