扩充低介电薄膜(low-k dielectrics)材料以及增加门极氧化物的厚度以有效地减少了泄漏电流。在采用65nm工艺后,晶体管性能提升了20%、交换功率降低了30%。
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低介电常数薄膜 low dielectric constant films
低介电薄膜
Low dielectric film
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对于在用作集成电路的层间介电体时的改善性能,确定了低介材 料和包含该材料的薄膜及其制备方法。
Low dielectric materials and films comprising same have been identified for improved performance when used as interlevel dielectrics in integrated circuits as well as methods for making same.
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