[转帖]新型缩微计量光栅传感器开发与应用 关键词：光栅；传感器；缩微；莫尔条纹；位移检测 [gap=3879]Keywords: grating; microimage; sensor; Moire fringe; displacement measurement
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...侧壁表面压阻；位移检测；参数优化 [gap=1016]Keywords: MEMS; DRIE; sidewall surface piezoresistor; displacement detection; parameters optimization ...
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反馈式力传感器前向通道设计_毕业设计论文_新浪博客 关键字：位移检测；电磁力；力发生器 [gap=1350]Key words: displacement-measure, electromagnetic force, force generator
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Finally, it discussed the integration of displacement measuring system for hard disk' rotor suspended by AMB and put forward a project of integration about more parameter measuring for sensor.
对磁悬浮转子位移检测系统的集成作了一定的探讨，提出基于智能芯片的系统集成设计方案。 为以后传感器进行多参数检测及智能化打下基础。
参考来源 - 磁悬浮硬盘转子动态位移涡流检测系统研究This paper mainly introduced raster displacement detection system based on FPGA.
本论文主要研究基于FPGA的光栅位移检测系统。
参考来源 - 基于FPGA的光栅位移检测技术研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
轴向位移检测法和直接调整法。
They are optical-mechanical method, displacement detecting method and direct adjustment method.
系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响。
Displacements detection of the system is not influenced by large rotation of planar stage.
本论文主要研究基于FPGA的光栅位移检测系统。
This paper mainly introduced raster displacement detection system based on FPGA.
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