arsenic fluoride
... 苯甲醚，茴香醚 Anisole 五氟化砷 Arsenic Pentafluoride 三氢砷化，砷化氢 Arsine ...
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五氟化砷是砷元素和氟元素形成的一种无机化合物。其中砷元素的氧化态是+5。由氟与三氟化砷或砷反应制得。作氟化剂用在离子移植中。可用于某些六氟砷酸盐的合成。高纯品用三氧化二砷直接氟化可制得，在微电子工业中用作砷离子注入剂。
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