二氧化硅膜silicon dioxide Film }i02一种无定形玻璃 状结构的电解质膜，为近程有序网状结构、禁带宽度8.1}}V- 密度2 . 2glcm3。介电系数3.9}折射率1.}iS一1.47。电阻率 llha一1U 5,17.-m:熔点170U}。采用在硅片上热氧化、阳极氧 化、化学气相沉积法制备，是半导体硅器件的优良的表面保护 膜和表f}l钝化膜。__、__， 、、.r卜
... 二氧化硅;硅石;silicon dioxide;silica 二氧化硅膜;silicon dioxide film 二氧化硅;方英石;白硅石;砂;方石英;白炭黑;微细硅酸;Cristobalite;silica,…… ...
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二氧化硅薄膜 silica film
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高密度二氧化硅薄膜 High Density Silicon Dioxide Films
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修饰后的二氧化硅膜孔结构没有显著的变化，可以应用于氢气分离等领域。
The pore structure of silica membranes remains almost intact after modification, and it's suitable for the application in hydrogen separation.
研究了憎水基团的添加量对溶胶体系的稳定性和对二氧化硅膜润湿性以及水汽稳定性的影响。
The influences of hydrophobic group content on the stability of the silica sols and the surface wettability and vapour stability of the silica membranes were investigated.
并将无显影气相光刻的方法应用于这种二氧化硅膜的刻蚀，通过优化后的光刻工艺参数得到了反差明显的光刻图形。
The uniform sol gel derived silicon dioxide film was prepared under optimal conditions. DFVP was applied to etch this film. The photolithography patterns was obtained due to the different etch…
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