secondary ion spectrometer
定义 中文名称： 二次离子谱仪 英文名称： secondary ion spectrometer 定义： 适用于元素的表面分布、深度分布的微区分析的能谱仪。 应用学科： 机械工程（一级学科）； 分析仪器（二级学科）；能谱和射线分析仪器-能谱和射线分析
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短语
二次离子质谱仪
SIMS
;
[物]
secondary ion mass spectrometer
;
secondary ion mass spectrograph
;
Secondary Ion Mass Spectra
小型二次离子质谱仪
Compact SIMS Station
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