three-probe method
定义 中文名称: 三探针法 英文名称: three-probe measurement 定义: 以直线排列的三支金属探针与半导体外延样品表面接触,测量反向电流?-?电压特征,从击穿电压计算掺杂浓度再换算电阻率值的电学测量技术。 应用学科:
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三探针法
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