曾负责和承担"八五"、"九五"、"十五"期间多项国家"科技攻关"、"攀登计划"、"自然科学重大和重点基金"、"973计划"、"863计划"项目。这些任务都被很好完成,均已通过了国家验收或鉴定。
研究方向
(1) 集成传感技术与器件
·硅微型加速度计
·硅集成压力传感器
·集成磁场传感器
·硅微流量计
(2) 微电子机械系统 (MEMS)
·硅微型马达
·硅微型泵
·硅微型麦克风
·铁电--硅微器件
·硅微机械陀螺
·RF MEMS器件(射频微机械开关、滤波器、天线、电感电容)
·微光机电器件(MOEMS)
(3) 硅生物芯片与技术
·微电子与分子生物学兼容技术
·DNA芯片技术(生物芯片技术)
(4) 新型微电子器件
·深亚微米MOS器件
·半导体低温器件与电路
(5) 纳米技术与纳米器件
·纳米制造技术、加工技术
·量子传感器
研究内容
·结型场效应器件(JFT) EEPROM集成电路
·BiCMOS低温器件与电路 深亚微米MOS器件
·微机械 (MEMS)器件 硅集成传感器
2) 近年来研究成果:在国内首先研制出以下器件:
·几种新型硅集成传感器(压力、温度、红外、磁场、加速度、等传感器)
·硅微静电马达
·硅集成微型泵
·硅微声学器件(硅麦克风、超声器件)
以上器件在结构上都具有创新,技术指标都达到国际先进水平