psg
这种方法是以多晶硅为微结构层,磷硅玻璃(PSG)作为牺牲层的表面微细加工技术。
[电子] phosphorosilicate glass
... phosphor storage 磷光屏存储器 phosphorosilicate glass 磷硅玻璃 photion 充气光电二极管 ...
BPSG ; 玻璃 boron-phosphorosilicate glass
BPSG
phosphosilicate glass passivation