- 1. Immersion lithography: 浸润式微影
据专家说法，先进的193奈米浸润式微影(immersion lithography)工具，采用折射率为1.44的非离子水(de-ionized water)，预计能处理节点小至32奈米的晶圆。
dict.youdao.com - 2. Immersion lithography: 浸入式光刻技术
...45nm 器件工艺中，使用的曝光光源仍然是 193nm 第4 页 共28 页 光源，在此工艺中使用了浸入式光刻技术（Immersion Lithography）， 成功解决了用193nm 光源曝光45nm 器件的难题。
dict.youdao.com - 3. Immersion lithography: 浸没式光刻
浸没式光刻（Immersion Lithography ），2004年12月??
dict.youdao.com - 4. Immersion Lithography process: 沉浸式光刻技术
dict.youdao.com - 5. Immersion lithography Illustration: 式光刻
dict.youdao.com - 6. immersion lithography equipment: 式光刻机
dict.youdao.com - 7. arf immersion lithography: arf浸没式光刻
dict.youdao.com - 8. immersion lithography scanner: 米浸润式微影扫描机
dict.youdao.com - 9. immersion lithography technology: 浸入式光刻技术
dict.youdao.com - 10. nm arf immersion lithography equipment: nmarf浸没式光刻机
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