- 1. 极紫外线: EUV
20纳米后半制程并非采用极紫外线(EUV)这类次世代暴光方式，而是采用既有的浸润方式建造。纳米制程是将半导体电阶梯幅微缩至人类头发4,000分之1粗细的制造工程。
dict.youdao.com - 2. 宽视角极紫外线成像仪: WFAI
dict.youdao.com - 3. 极端紫外线: EUV
dict.youdao.com - 4. 极紫外和软X射线: XUV and soft X ray
dict.youdao.com - 5. 积极防御紫外线伤害: China Inspection and Quarantine
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