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♣两大支撑：微电子技术（Microelectronic Technology ） 与 光 电 子 技 术 （OptoelectronicTechnology）是整个信息 技术的基石。
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而微机械是在同一块硅底板上，使腐半导体微加工技术（microfabrication）和微电子技术（microelectronics）制造出的机电一体化产品，把机电两者制作成不可分割的统一整体，实现了在微型机械领域内机和电的的真正结合，如目前已经能够制造...
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