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1.3.1 直拉法(CZ) 直拉法(CZ)是切克劳斯基法(Czochralski method)的简称,它是在一个 坩埚中将多晶料融化,然后利用装有籽晶的提拉装置向上提拉生长单晶硅的方法, 又称提拉法,这种方法是生长单...
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...或G的修正量,加入由上述手段1暂时设计的制造条件中,来算出下一批要 本发明提供一种单晶硅的制造系统,是为了使通过采用切克劳斯基法(CZ法)的提拉装置制造出来的单晶硅的结晶品质在目标规格内,设计出将提拉速度F与结晶固液界面轴方向温度梯度G的值,控制在规定范围内的...
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