The interferometer at nanometer positioning integration system is set up.
建立了集成纳米定位装置的干涉仪系统。
The network can reduce the modeling error for the piezoelectric actuator of a nanometer positioning system. Experimental results proved validity of the algorithm.
将该网络应用于纳米定位系统压电陶瓷执行器迟滞建模中，可以降低建模误差，实验结果验证了该方法的有效性。
The network can reduce the modeling error for the piezoelectric actuator of a nanometer positioning system. Experimental results proved validity of the algorithm.
将该网络应用于纳米定位系统压电陶瓷执行器迟滞建模中，可以降低建模误差，实验结果验证了该方法的有效性。
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