The main design method and the application in the AMB of MEMS are studied in detail. Finally, the main problems and the development trend of MEMS are indicated.
主要讨论了微机电系统主要的设计方法以及微机电系统技术在磁力轴承中的应用，最后指出了目前微机电系统技术所面临的主要问题及其发展趋势。
The main design method and the application in the AMB of MEMS are studied in detail. Finally, the main problems and the development trend of MEMS are indicated.
主要讨论了微机电系统主要的设计方法以及微机电系统技术在磁力轴承中的应用，最后指出了目前微机电系统技术所面临的主要问题及其发展趋势。
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