热式气体质量流量传感器就是其中的一类。
本课题采用MEMS工艺制作热膜式气体质量流量传感器，主要工作放在敏感头芯片部分的研制。
This task adopt MEMS technics to make Thermal -film air-mass sensor, mostly work is the study and facture of the sense organ of the chip.
本课题采用MEMS工艺制作热膜式气体质量流量传感器，主要工作放在敏感头芯片部分的研制。
This task adopt MEMS technics to make Thermal -film air-mass sensor, mostly work is the study and facture of the sense organ of the chip.
应用推荐