质量保证区（FQA）-晶圆片表面中央的大部分。

Fixed Quality Area (FQA) - The area that is most central on a wafer surface.

youdao

质量保证区（FQA）-晶圆片表面中央的大部分。

Fixed Quality Area (FQA) - The area that is most central on a wafer surface.

youdao